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       微納加工技術開發微流控生物芯片和相關產品的研發和量產，通過設計和模擬降低開發成本，再主要采用MEMS微納加工技術（光刻、鍍膜、刻蝕，鍵合等工藝，實現SI基芯片），加工制備芯片模芯，產品可以用于光通信，成像領域，以及生化反應，藥物篩選等生命健康領域，并可用于細菌環境檢測等領域。